多晶硅-單晶硅超純水處理的工藝大致分成以下3種：

　　1、采用離子交換樹脂制備電子工業超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：

　　原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

　　2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業超純水的方式，其基本工藝流程為：

原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

　　3、采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備電子工業超純水的的方式

這是一種制取超純水的新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

工業產品制造用水特點

1．用水量大

我國城鎮的工業取水量占全國總取水量的20%，但隨著城市化和工業化進程的加快，城鎮工業數量的大幅增長，水資源供需將逐漸加大。

2．大量工業廢水直接排放

我國城鎮工業廢水排放量約占總排水量的49%，由于絕大多數有毒有害物質隨工業廢水排入水體，導致部分水源被迫棄用，加劇了水資源的短缺。

3．工業用水效率總體水平較低

我國小城鎮水資源嚴重短缺的同時又存在嚴重浪費的現象．工業用水重復利用率約為52%。國內地區間、行業間、企業間的差距也較大。重復利用率高達97%，而低的只有2.4%，不少鄉鎮企業供水管道和用水設備“跑、冒、滴、漏”現象嚴重，地下水取水量逐年上升，浪費和漏失的水量高于取水量的15%。

4．工業用水相對集中

我國城鎮工業用水主要集中在紡織、石油化工、造紙、冶金等行業，其取水量約占工業取水量的45%。小城鎮的工業節水應實行用水總量控制，而且應與水環境治理、改善和保護的要求相配合，同時，考慮鄉鎮企業自身的產業結構調整、技術水平升級以及產品的更新換代。